二手 CANON / ANELVA SPF-540H #9053829 待售

CANON/ANELVA SPF-540H濺射設備是一種精密濺射沈積系統，設計用於許多不同的應用。憑借其先進的設計，這個先進的單元能夠通過對組成、質地、形態等參數的精確控制，在多種基板上精確處理薄膜。這臺獨特的機器可用於多種類型的應用，包括制造高端研究和生產工具。CANON SPF-540H單元包括一個沈積室，該沈積室容納一個三室旋轉磁控管、一個電源、一個離子源、一個濺射靶和一個帶有多邊形/旋轉基板支架的直流電源，以便在沈積過程中將基板固定到位。該單元還包括一個玻璃自旋和熱解玻璃。它可以用於從薄膜沈積到大面積整體CVD工藝的多種過程。電源配置為控制濺射和離子源的直流脈沖強度,並且能夠承受各種輸出電壓、電流範圍和循環速率。腔室可以處理過程中高達1000 °C的溫度，目標能夠相對於基板旋轉。旋轉磁控管能夠在底物上提供均勻的沈積，離子源可以被編程成多種沈積剖面。沈積物在沈積過程中可以在基質上進行監測，濺射源可以被編程成多種成分。此工具還與多種類型的監視軟件兼容,從而可以輕松、實時地監視過程。此外,還可以遠程操作ANELVA SPF-540H,這意味著可以從遠程位置監視和控制資產。總體而言，SPF-540H是一種功能強大、用途廣泛的濺射沈積模型。適用於多種應用，可在多種基材上精確加工薄膜。其先進的設計和從遠程位置監視和操作的能力使其成為各種用戶的理想工具。