二手 CANON / ANELVA SPF-710H #157670 待售

CANON/ANELVA SPF-710H是一種高端分析濺射設備，用於薄膜沈積和金屬化過程。設計用於生產和大規模研發應用。該系統由各種部件組成，包括濺射源、基板加熱器、驅動組件、真空室、控制面板和排氣單元。佳能SPF-710H濺射源具有低壓室和鎢靶。與傳統的濺射源使用射頻（RF）輝光放電使目標汽化不同，ANELVA SPF-710H使用直流（DC）偏置電壓來方便離子濺射。這提高了發射均勻性和濺射速率。基板加熱器設計用於在沈積過程中保持基板的溫度，而驅動組件則提供對定位和基板運動的精確控制。SPF-710H真空室采用高級不銹鋼結構，具有寬敞的空間，可容納尺寸不超過8英寸的基板。強大的真空泵，加上高貴的氣體輸送機，在腔室保持高度真空。這樣可以實現快速高效的薄膜沈積。CANON/ANELVA SPF-710H的控制面板非常精密,可為用戶提供對工具的各種功能和參數的精確控制。它包括一個直觀的圖形界面，並預先編程了常用的操作條件。此外，它還包括各種安全功能，以保護使用者免受有害氣體和電擊。最後，CANON SPF-710H包括一個強大的排氣資產，以快速有效地疏散濺射的顆粒和氣體。這在高真空沈積過程中尤為重要，因為它有助於減少汙染並保持安全和健康的工作環境。綜上所述，ANELVA SPF-710H是一種綜合性的高端分析濺射模型，適用於廣泛的薄膜沈積和金屬化應用。其先進的部件，包括濺射源、基板加熱器、驅動組件和控制面板，為可靠高效的運行提供了一個堅固的平臺。此外，其先進的安全特性和強大的排氣設備確保了安全、無汙染的工作環境。