二手 CANON / ANELVA SPF-730 #9031246 待售

CANON/ANELVA SPF-730是一種用於各種薄膜應用的濺射設備。適用於廣泛的濺射過程，可用於沈積金屬、介電膜等材料。CANON SPF-730能夠在大面積上提供準確、均勻的沈積，具有高通量率。該系統以多磁控管濺射（MMS）技術為基礎，采用優化的濺射方法，能夠在不同區域上制造出耐用均勻的塗層。該單元具有獨特的模塊化腔室設計，有助於提高沈積層的均勻性。ANELVA SPF-730有兩組磁控管，一組位於腔室頂部，一組位於腔室底部。本機利用陰極電弧蒸發技術，發射向底物加速的高能離子。這有助於即使在高沈積效率和速度的大型基板上實現均勻沈積。它具有對磁控管電源的獨立控制，還由一個射頻發電機組成，該發電機控制底部和頂部的磁體，從而提供均勻的層沈積。該工具包含兩部電梯，有助於手動裝卸基板。SPF-730的氣體進料資產包含兩個獨立的源，分別是氙氣（Ar）和氧氣（O2）。這兩個氣源可以單獨調節，以優化濺射沈積過程。CANON/ANELVA SPF-730還具有一個冷卻器單元，在操作過程中有助於保持室內溫度低。它還包含一個控制單元，可幫助設置各種參數，如工藝周期、定時和氣體流量。該型號還包含一個觸摸屏操作面板和一個液晶屏,用戶可以在操作過程中監視設備。該系統常用於生產從低k介電層到高k介電層、金屬膜、化合物等各種類型的薄膜塗層。適用於半導體晶圓制造、硬盤驅動器生產、顯示屏和觸摸屏生產、傳感器等廣泛應用。佳能SPF-730是一種高效的濺射裝置，能夠為各種工業應用制造出均勻耐用的薄膜。該機操作方便，對沈積過程進行準確控制。