二手 CANON / ANELVA SPF-730 #9284116 待售

CANON/ANELVA SPF-730是一種濺射設備，可用於薄膜沈積、薄膜沈積、微觀分析、儀器儀表、摩擦學、樣品制備等多種應用。CANON SPF-730具有一個24英寸直徑、24英寸長的不銹鋼工藝室，設計為在10^-5 Torr的真空下運行。它配有內置氣體入口、八部分晶體目標架，以及用於均勻磁控管濺射的單點磁鐵。濺射系統的最大功率等級為2kW，工作度為100 W至1.2 kW。另外還有12個可調電流範圍高達100 mA，以及5個旋轉移位設置，從而能夠精確控制濺射過程。該單元的腔室設計用於容納直徑不超過12英寸、重量不超過40磅的樣品。它還為外部工具提供訪問權限,包括樣品支架、刀具、火炬和顯微鏡。在機器上可以安裝小型爐和溫度控制器，以便更厚的沈積。ANELVA SPF-730配有內置的帶有蝕刻室的等離子體工具、受試者控制的射頻等離子體源、射頻匹配網絡以及磁控器濺射。資產還可以配備紅外探測器，用於在工藝開發或研究過程中監測薄膜沈積。SPF-730是一個可靠和高效的濺射模型，適用於廣泛的應用。其易於使用的控制設備和廣泛的能力使其成為研究實驗室、薄膜沈積、樣品制備和儀器儀表的理想選擇。