二手 CANON / ANELVA SPF-730H #293660536 待售
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ID: 293660536
晶圓大小: 6"
優質的: 1996
Sputtering system, 6"
Non-SMIF Type
Main body
Pump
Display
Pump line box
Cables box
Pump cover
Spare parts
(2) Control cabinets
Air pressure: 6-8 kgf/cm²
Water volume:
Main body: 2kgf/cm², 6 L/min
Attached: 2kgf/cm², 5 L/min
Power supply: AC200 V, 60 A, 3-Phase
1996 vintage.
CANON/ANELVA SPF-730H是一種最先進的濺射設備,其設計目的是在較小的占地面積內為研究人員提供先進的濺射能力。這種濺射系統結合了高效的直流控制濺射工藝和先進的電源技術以及符合人體工程學的設計，使操作變得簡單直觀。整個裝置可確保提高濺射結果的吞吐量、準確性和可重復性。濺射機由主體和磁場兩個主要子系統組成。主體裝有濺射源、真空工具和計算機控制資產。濺射源由兩個雙磁控管組成，使得高效直流控制的磁控管濺射過程得以發生。真空模型由擴散泵和渦輪分子泵組成，確保在穩定的低壓真空環境下進行濺射過程。計算機控制設備能夠精確控制和調整濺射參數，包括電源電流、電壓和波形。該系統還具有磁場陣列，該陣列由一系列交叉的永磁體圍繞濺射源放置。這提供了目標材料的均勻濺射以及方向控制，確保濺射材料分布均勻，不會偏離基板。CANON SPF-730H濺射裝置是需要高精度、可重復和可靠結果的濺射應用的理想選擇。憑借其先進的濺射工藝、多種功能和用戶友好的設計，這款濺射機是實驗室和研究機構為其濺射需求尋找可靠解決方案的絕佳選擇。
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