二手 CANON / ANELVA SPF-730H #9219102 待售

CANON/ANELVA SPF-730H是為材料的薄膜沈積而設計的濺射設備，通常應用於半導體、薄膜和納米技術相關的研發領域。它是一種三源物理氣相沈積（PVD）系統，可以在基板上沈積金屬、半導體和介電薄膜。CANON SPF-730H由三個獨立的旋轉共磁控管組成,這些磁控管允許從三個來源沈積材料,並具有連接到旋轉器的旋轉編碼器,以幫助優化單元。此配置提供了更好的目標利用率,從而提高了生產效率,同時降低了重新定位和維護成本。此外，該機還配備了現場發射監測器，以確保薄膜厚度和組成在沈積過程中保持一致。ANELVA SPF-730H具有雙室設計，主室和輔助室可用於多個應用。主室是真空密封的，包括兩個直徑20厘米的基板支架，支撐直徑達200毫米的基板，以及一個用於角度濺射的旋轉軛。它還裝有氮氣供應裝置，允許在高達0.5帕的氣氛中進行反應性濺射。輔助腔室配有淋浴頭功能和微控制器，用於控制刀具參數。SPF-730H具有確保高真空質量的負載鎖定資產,以及防止基板長時間暴露在真空中的自動快門,從而無需手動處理。它還具有自動操作溫度控制，確保沈積過程中基板的溫度穩定性。此外，該模型還配備了一臺控制整個過程的計算機，從基板的定位到監控氧分壓，允許精確和可重復的配方。總之，CANON/ANELVA SPF-730H是一種可靠、一致的濺射設備，可用於薄膜材料的沈積，用於研發。其三源PVD系統和負載鎖定單元保證了膠片的高均勻性和可重復性，而其內置傳感器則有助於優化生產速率。