二手 CANON TOKKI CR 099 #9143788 待售

CANON TOKKI CR 099是一種濺射設備，設計用於將材料薄膜沈積到一系列工件材料上。該系統可用於各種濺射沈積過程，包括高速率、低壓物理氣相沈積（HRLP-PVD）和低壓化學氣相沈積（LPCVD）。該單元由高壓直流電源供電，利用ARC、EOS和C8070逆變器精確控制濺射過程。ARC和EOS逆變器提供獨立控制濺射過程溫度和功率的能力，而C8070提供額外的電流控制和頻率控制能力。該機器還包括一個高級流程監視器（APM）工具,用於監視和記錄流程參數。CR 099包括三個不同的腔室：一個主真空室、一個第二加熱腔和一個第三冷卻腔。主室工作容積為2.1m3，工作壓力範圍為1.0至2.0 Pa，主室內部使用旋轉磁控管濺射源將目標材料濺射到工件上。第二室和第三室分別配有加熱和冷卻系統，用於控制濺射材料的沈積速率和溫度。此外，該資產還包括一個自動加載模型，該模型允許濺射過程連續運行，而無需人工。設備配備了必要的安全功能，如限壓和熱防護功能。CANON TOKKI CR 099能夠生產厚度在0.3至40 µm之間的薄膜，令人印象深刻的均勻度為+/-5%。該系統還設計用於各種材料組成，包括金屬、陶瓷和聚合物。它還提供了廣泛的工藝參數，包括沈積速率、與工件的距離和單元功率。總體而言，CR 099濺射機是薄膜沈積的可靠有效的解決方案。由此，廣泛應用於從半導體制造、光伏電池、顯示器生產到醫療和光學應用等多個行業。