二手 CASON TCB 10 #155369 待售

CASON TCB 10設備是為塗覆多種材料而設計的高性能直流濺射系統。它是一種多功能塗層裝置，能夠在壓力、溫度和功率可變的八個位置上濺射多個目標。TCB 10用全自動的鎖載機建造，允許將基板引入腔室。它還具有一個數字控制器，以確保正確的穩態操作的工具。該資產具有10個目標濺射單元,這些單元可以濺射直徑最大為12英寸的目標,真空兼容性可降低到8x10⁻⁵ torr（1.3x10⁻¹¹ herecometer）。CASON TCB 10利用強大的電源來創建用於濺射的特殊直流波形。這些電源可針對電流和電壓進行調節,從而可以控制功率、溫度和壓力。此外，該模型還具有可調氣流控制設備，用於Ar和Xe濺射氣體。這種塗層系統還有一種自清潔機制，在每次塗層後自動從腔室中清除沈積。這樣可以確保設備隨時間保持其性能水平,並有助於確保均勻的薄膜厚度。這種多功能塗層機可用於濺射金屬如鈦，銅和鉻等。也可用於濺射ITO、MgO、AL2O3等氧化物。TCB 10具有覆蓋直徑達300 mm的晶片以及電池和基板的能力。CASON TCB 10是尋找可靠高效直流濺射工具時的完美解決方案。憑借其高端功能,它提供了靈活可靠的塗層工藝,非常適合所有塗層需求。