二手 COMTECH SST 5 #199747 待售
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ID: 199747
Inline Sputtering System, 6"
14 1/2” x 18” Chamber
1 1/2" H x 14 3/4" with Loadlocks
(4) Slit valves
(2) Plasmatherm HFS-2500 RF power supplies
Comtech match boxes.
Varian VHS6 DP
Temescal rotary cathode and ERA 20 KW.
COMTECH SST 5是一種流行的濺射設備,能夠在基板上制造各種材料的薄膜。該系統被用於多種行業,從汽車工業到納米技術應用。該單元的主要部件包括高真空室、電源和濺射目標陰極。在真空室內,環境保持在非常低的壓力水平,以制造出質量非常高而不受汙染的薄膜。電源將大電流脈沖直接輸送到濺射目標,使材料從目標汽化到基板表面。目標由整流器、燈絲、連接器和板上的電極組成。整流器將電壓轉換為直流電流,然後通過燈絲、電極和連接器發送直流電流,並在目標和基板之間形成電弧。這種電弧把基板上的材料濺掉.弧的強度可以調整以滿足濺射的需要。陰極具有很高的轉速,允許在多種材料中濺射高質量的塗層。這是由於轉速在工作室內產生湍流,減少了離子與基板材料的碰撞次數。該濺射機中使用的基材和目標材料取決於用戶的具體需求。可能的材料可能包括氧化物、金屬、合金、有機材料等薄膜,以及必須與基板表面保持緊密接觸的其他材料。SST5能夠沈積高達3納米的薄膜,由於真空環境高,氧化可能性低。這使得它成為汽車塗層、納米加工、微制造等各種薄膜應用的非常有用的工具。總體而言,COMTECH SST 5是一種非常可靠的濺射工具,具有針對各種應用程序的強大功能。它提供精確的濺射和出色的膜均勻性。其專門設計確保表面保持清潔和無汙染。資產易於維護,不需要定期重新校準,使其成為許多商家的熱門選擇。
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