二手 CPA / KURDEX 9900-1 #9173356 待售
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ID: 9173356
Horizontal in-line sputtering system
Entry / Exit load lock:
CPA Chamber
CPA Load lock valve
Load lock chamber 26"
Single pallet operation
12” x 24” Sputter zone
(1) Al Pallet, 15.5” x 25” x .25”
MKS 924 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
Pallet sensors
Process chamber:
CTI CT-8 Cryo pump
VAT Hivac valve
MKS Throttling valve
CTI 8500 Compressor
MKS 972 Multi-gauge for vacuum
Measurement ATM to -8 Scale
(2) Gas system with VCR gas lines
(2) NUPRO Isolation valves
(2) MKS MFCs for Ar 200 sccm , O2 50 sccm
MKS Variable throttle value
MKS 390 Baratron gauge
Chain drive transport system
AE Pinnacle+, 5 kW DC power supply
With sync cable
(4) CPA Process chambers:
(6) CPA 4.75” x 15” DC Magnetron assemblies
(6) Targets shielding
(1) CPA Process chamber
Oven run
Control system:
Opto-22 PLC
Monitor-simple PLC
Manual and auto control modes
Recipe control
(2) Stepper motors
I/O Wiring
SMC Soleniod block
UL Approved power box with EMO
CPA Optical pallet sensing system
With controller and sensors
RGA:
LEYBOLD Transpector
Installed with isolation valve
Dry pump.
CPA/KURDEX 9900-1濺射設備是專門為薄膜沈積應用而設計的基於磁控管的系統。它是一種高精度、多目標單元，非常適合各種材料的濺射塗層。CPA 9900-1的最大沈積速率為0.3 Å/s，目標至樣本距離範圍為3至10厘米，最大基材尺寸為9英寸。它還能夠濺射正負目標。該機由一個自動Argon-ion source提供動力，並裝有一個特殊的、超高真空（UHV）的三重目標磁控管濺射槍。KURDEX 9900-1配備了多種功能，包括易於操作的觸摸屏顯示屏、安全的全封閉設計以及用於目標監控的LED顯示屏。該工具還配備了PLC（可編程邏輯控制器），用於優化自動化和精確控制資產的濺射過程。該模型還可以集成到自動化生產線中，從而能夠快速高效地在圖案化薄膜中塗覆增量。9900-1采用高功率、特別設計的等離子體發生器，創造最佳濺射條件。該設備的濺射參數具有很高的可調性，可以進行編程以獲得最佳效果。最高工藝溫度範圍為0-1000˚C,最大功率輸出為8kW。該系統進一步配備了水冷護罩，以確保安全和可靠性。CPA/KURDEX 9900-1是高性能薄膜沈積應用的理想選擇。其卓越的精度和速度使得它非常適合快速和高效的濺射塗層與各種材料。該單元還配備了若幹安全監控功能，以保護操作員和基板免受任何潛在幹擾。CPA 9900-1是高精度、高性能濺射應用程序的一個可訪問且經濟實惠的選項。
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