二手 CPA / KURDEX 9900-1 #9212051 待售

CPA/KURDEX 9900-1設備是為多種材料沈積而設計的雙槍濺射系統。它能夠定期沈積導電和絕緣膜、薄膜、碳膜、陶瓷膜、氧化物和氮化物以及金屬和合金。該單元可配置為手動或自動腳踏板控制操作。CPA 9900-1機提供高功率、兩槍濺射源，並使用經驗證可靠的RF（射頻）腸源，允許一致控制的沈積速率和均勻的薄膜厚度。它具有在直流濺射和反應性濺射蝕刻模式下工作的能力，並具有脈沖模式，所有這些都能夠非常精確地控制濺射速率和薄膜成分。該工具的操作壓力範圍從高真空到超高真空水平，可用於單個資產中最多10個目標和10個源。該模型配有標準的石英晶體監測器和可選的光學光譜儀，用於精確監測和控制薄膜的厚度和組成。它提供磁性和動力學濺射，具有高達8"的目標提供增加均勻性和覆蓋率，由於不同的目標旋轉速度和傾斜角度。它還包括一個盒式船能夠達到10"晶圓，與桌面真空轉移機器人提高生產力。KURDEX 9900-1包含用於監控沈積速率和其他工藝參數的高級數據記錄和控制功能,具有高分辨率圖形顯示功能。它還具有自動啟動功能,可確保增強和改進重點工作流。9900-1濺射設備直觀、用戶友好,得益於數據采集功能,使用戶能夠實時調整和監控系統性能。總體而言，CPA 9900-1是一個可靠、高效和方便用戶的濺射裝置，旨在實現各種材料的一致、精確和微調沈積。