二手 CPA / KURDEX 9900 #9035084 待售
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ID: 9035084
Sputtering system
Manual operation
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
Diffusion pumps model #0183 (VHS-4 new model number) for the load locks
Turbovac 1000CT Turbo pump for the process chamber
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900是為納米技術和材料研究而設計的高性能濺射設備。它是一個緊湊、非真空、高速率的等離子體系統，具有各種能源和廣泛的可自定義的用戶可配置參數。該單元構建在模塊化平臺上，配有控制器、電源、供氣、目標支架、廣泛的目標、準直擋板、真空室和視口。CPA 9900利用高功率脈沖等離子體技術，產生高速率、可重復的濺射過程，將薄膜材料的氣相沈積物輸送到缺陷最小的基板上。本機具有均勻、高速度的濺射，保證了薄膜的質量沈積，具有良好的附著力和均勻性。此外，該工具還可用於沈積薄膜，用於廣泛的應用，包括半導體結構、光學塗層和生物醫學設備。KURDEX 9900的動力由廣泛的能源提供，包括磁控管、電弧等離子體源和電子束槍。控制和監測系統允許精確調整等離子體參數，如功率、氣體成分和脈沖寬度。它還具有可定制的工作參數,例如溫度、壓力、冷卻時間和壓力模式。這使用戶能夠根據自己的具體要求量身定制濺射沈積。9900資產配備了一系列安全機制，確保濺射過程中的安全。這些措施包括空間溫度無關的過溫關閉、目標區域熱保護和水平敏感的電弧啟動控制。該模型還采用了「目標中毒」設備，減少了蒸發顆粒與底物之間的反應以及與表面汙染物的界面。總體而言，CPA/KURDEX 9900濺射系統是納米技術和材料研究的高效、可重復、高度可控的單元。這臺機器能夠生產質量和均勻性優良的薄膜沈積材料，具有廣泛的性能和應用。用戶友好的界面，加上可定制參數的範圍，使得CPA 9900濺射工具成為任何研究或工業濺射應用的絕佳選擇。
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