二手 CPA / KURDEX 9900 #9035090 待售
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ID: 9035090
Sputtering system
Cold trap in each chamber
Load lock at each end
Substrate heater chamber
(3) Cathode chambers
Cathode size: 15"
The left side used to have a diffusion pump model #VHS-4, process chamber and the right load lock each had a turbo pump model# TURBOVAC 1000CT
No high vacuum pumps, turbo pumps or diffusion pumps included
Both load locks original vacuum controllers were upgraded some time ago with PLC vacuum controllers
System handles 14 pallets in a load, 12"x12" usable pallet area
Equipped in each load lock a heater enclosure and an omega temperature controller for high temperature cures (=<500C) at high vacuum.
CPA/KURDEX 9900是一種高度通用的物理氣相沈積（PVD）濺射設備,專為薄膜沈積、擴散屏障塗層、防護塗層和光學塗層等應用而設計。它能夠處理各種各樣的基板，最多有四個濺射目標，磁控管濺射，或平面源，允許同時濺射在多個表面上。該系統配備了一個非接觸式、完全計算機化的采樣階段，用於精確控制采樣和沈積參數。它還包括一個PLC（Programmable Logic Controller），用於監視和控制所有工藝參數，加上高分辨率石英控制器，可以進行精確測量和精確濺射。CPA 9900為半導體和鐵磁塗層行業的廣泛控制和數據記錄需求提供了全自動解決方案。它與許多軟件包兼容，包括MATLAB、AutoCAD和LabView。該機組使用特高壓和高真空模式進行濺射，能夠使用高能、低能和惰性氣體沈積等多種來源。KURDEX 9900采用63mm的圓形濺射目標,可提高表面均勻性和薄膜質量。此外，由於恒定的濺射深度調節能力，該機實現了均勻的濺射目標面。機器有一個PLC來方便所有的工藝參數，從設置濺射速率到設置薄膜厚度。該機器易於使用，可以手動操作，也可以使用可選的自動調諧軟件操作。自動調諧軟件允許更精確和連續的濺射速率調整，以及自動輸送防止氧化氣體。該工具還可以記錄清潔和沈積過程的每個單獨步驟的數據。9900是一種高效的工具，可以制造高度均勻、無缺陷、成分廣泛的大衣，可以提高產品的長期性能。CPA/KURDEX 9900濺射資產被證明是薄膜沈積的可靠、準確、堅固的工具。
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