二手 CPA / KURDEX 9900 #9115251 待售
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已售出
ID: 9115251
Sputtering system
DRESSLER Cesar 1kW cryo pump
(2) Torr 8
Torr 10
Process parameter control ranges:
Sputtering pressure: 5 - 30 Microns
Conveyor speed: 0.1 - 80 cm.min.
D.C Deposition power level: 100 - 9000 watts
R.F Deposition power level: 50 - 3000 watts
R.F Sputter clean power level: 15 - 1000 watts
Substrate heating: Ambient to 350°C
Uniformity performance:
Etch: ±10%
Deposition:
R.F Magnetron ±10%
D.C Magnetron ±5%
Vacuum performance:
Ultimate pressure
2 x 10(-7) in 16 hrs
5 x 10(-7) in 30 minutes
Rate of rise: 1 x 10(-4) 6 minutes
Vacuum tight: Less than 5 x 10(-10) standard atmosphere cc helium/second
Utility requirements:
4 Wires delta or 5 wires wye
Water temperature: 50 - 75°F (10-24°C)
Air: 70 to 100 PSIG (6 to 8 ATU) filtered, 1 CFM
Sputtering gas: Typically 5 PSIG (1.3 ATU) argon
Power: 208 V, 100 A. 3 phase, 50/60 Hz.
CPA/KURDEX 9900濺射設備是用於薄膜沈積的最先進的高科技設備。它是為濺射塗層、化學氣相沈積或電鍍等特殊應用而設計的先進、多目標、多槍、交鑰匙系統。CPA 9900非常適合研究和生產應用。該裝置包含多個目標，允許沈積各種材料，包括金屬、氧化物、矽化鎢和氮化物。該槍配置最多支持六個磁懸浮或八個石英晶體傳感器。KURDEX 9900機器具有數字電源調節和反饋控制功能,可實現卓越的目標均勻性、高吞吐量和低基板故障。自動化過程控制包括多達256點的編程幅度斜坡/定時,用於基板偏差、材料輸送、過程氣氛和真空性能。工藝壓力範圍為0.64至10-8 Torr。用於改善成核和粘附的基板加熱可以手動操作,也可以編程到高達800C的溫度。9900提供了先進的接口能力,包括以太網、RS-232、GPIB和IEEE-488接口。可通過PC界面訪問這些數據,以進行流程控制、數據記錄、配方存儲和遠程操作。此外，該工具還提供了一個主動清除和再循環歧管，用於除氧。CPA/KURDEX 9900濺射資產是一種用途廣泛、可靠、用戶友好的模型,可提供出色的薄膜塗層解決方案。多功能一體平臺的設計和設計易於使用、可靠性和吞吐量。它需要最少的操作員培訓，並提供將各種材料塗在不同基材上的能力。濺射設備非常適合各種工業、醫療、電子和國防應用。
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