二手 CPA / KURDEX 9900 #9262873 待售

製造商
CPA / KURDEX
模型
9900
ID: 9262873
PVD Sputtering system Cryo compressor Vacuum pump Vacuum gauge (2) Targets BOC EDWARDS Vacuum pump ADVANCED ENERGY MDX DC Power supply RF Generator (2) Loadlocks Slot trays Silicon wafer, 4"-8" MEMS Gallium Arsenide (GaAs) Glass wafers / Solar cell / Flat panel Panel missing.
CPA/KURDEX 9900濺射設備是為先進薄膜沈積技術而設計的高性能、最先進的濺射系統。這個先進的濺射單元具有廣泛的特性和功能,讓用戶獲得優越的濺射效果。CPA 9900濺射機能夠提供多達四個磁控管濺射源和四個rf/dc(直流電)平面源,用於薄膜濺射。它能夠實現廣泛的厚度,非常精細的控制濺射過程。該工具在兩個平面上還提供了出色的均勻性和可控性。除了兩個磁控管源和四個rf/dc平面源外,KURDEX 9900還配備了兩個渦輪分子泵,允許一個範圍的壓力設定點。這在濺射過程中提供了高吞吐量和很大程度的控制。9900濺射資產還配備了先進的光學器件,使用戶能夠精確測量薄膜厚度和成分。其先進的視覺模型和反射光束裝置提供了對表面地形、平面化和均勻性的詳細分析。這與自動配方功能相結合,使CPA/KURDEX 9900成為即使是最復雜的薄膜沈積項目的理想選擇。CPA 9900濺射設備還有一個非常人性化的界面,具有易於使用的觸摸屏界面,可以讓用戶在很少點擊的情況下快速調整濺射參數。它還支持離子蝕刻、邊緣隔離、多層和薄膜沈積等多種先進工藝。該濺射裝置上強大的氣體控制系統提供了良好的氣體流量控制,有助於確保理想的濺射性能。總體而言,KURDEX 9900濺射機是一款功能強大、可靠的機器,能夠為用戶提供最佳的濺射性能、準確性和均勻性,讓他們在復雜的薄膜沈積過程中獲得卓越的效果。
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