二手 CPA / KURDEX 9940 #9212048 待售

CPA/KURDEX 9940是一種高科技濺射設備，用於在多種表面上制造薄膜。該系統非常適合制造光學、電子和微電子器件的工藝研發。它使用一種稱為磁控管濺射的技術，利用磁控管從源材料中產生離子，然後由高壓氣體加速在基板上產生沈積。這種方法用於生產結果一致的高端薄膜。CPA 9940濺射單元由真空室、閉環冷卻機、源材料饋線、基板支架和電源組成。它配備了目標材料、電源和磁控管的濺射槍。原料在送料機中加熱，然後形成由氣體加速的離子，在基板支架上產生材料沈積。然後對基板支架進行操作，以調整膜的摻雜、晶粒結構和層厚度。KURDEX 9940工具最大工作壓力為10-4毫巴，由渦輪分子泵和隔膜泵維護。腔室在整個過程中處於高度真空狀態，以確保徹底和有效的濺射過程。閉環冷卻設備可有效地將溫度保持在較低水平,以最大程度地減少對基板的熱損壞。脈沖調制源電源和磁控管在基板的所有部分提供一致的沈積速率。9940的主要控制鍵是腳開關和五個功能鍵來管理模型。設備自動化程度很高,操作人員的幹預最少。基板支架的位置、沈積時間、靶材、氣體濃度等，如果需要，都可以在操作過程中改變。總體而言,CPA/KURDEX 9940是一個先進的、高度自動化的濺射系統,可靠,可提供具有精確控制和統一特性的高質量薄膜。其耐用的部件、可靠的操作和自動化功能都確保了一致和可靠的結果。這加上其高沈積速率，使得該單元非常適合需要精確控制和均勻薄膜特性的應用。