二手 CPA / KURDEX MRS-3 #9226503 待售

製造商
CPA / KURDEX
模型
MRS-3
ID: 9226503
PVD sputtering system 3 Beam confocal research Thin film coater Includes: SRS RGA 100 OMEGA RDX4sD 4-Channel thermometer OXFORD E500 Dual temperature monitor (3) RFPP RF5S RF Power supplies ADVANCED ENERGY Pinnacle Plus DC Power supply GRANVILLE PHILLIPS 303 Vacuum process transformer controller ALLEN BRADLEY Control PC EDWARDS IPUP2 Vacuum pump THERMO SCIENTIFIC NESLAB Merlin M33 Recirculating chiller CTI-CRYOGENICS 8200 Compressor.
CPA/KURDEX MRS-3濺射設備是一種適用於各種工業應用的高性能、高可靠性的偏置濺射系統。該單元用於開發和修改塗層,塗層的材料範圍廣泛,適用於濺射應用。其設計旨在優化沈積速率,提高工藝吞吐量,減少基板損傷。CPA MRS-3是一種三室機器,可容納三個陶瓷目標支架。在濺射過程中可以使用多種陰極配置,包括集群、靜電卡盤和磁感器。KURDEX MRS-3的有效濺射面積大,保證了沈積膜質量高。該機還具有多種監控系統,為沈積過程的每個階段提供過程控制數據。目標架具有可調節的懸掛機構,使用戶能夠準確定位目標。這樣可以優化目標沈積的均勻性。利用惰性氣流排出內室有助於控制沈積過程中的壓力,防止凝結蒸氣的堆積。MRS-3配備了各種自動化系統,使用戶能夠準確準確地控制和監控流程。它有一個用於自動底物裝卸的微控制器,一個計算機控制的過程控制器,以及一個調節沈積速率的閉環工具。偏置濺射過程使用戶能夠在各種基材上獲得高質量、均勻的薄膜。該資產的設計目的是盡量減少通常與濺射有關的基板損壞。它還能夠保持穩定、高濺射速率,確保過程吞吐量的最高程度。CPA/KURDEX MRS-3是一種有效可靠的濺射模型,可用於一系列塗層應用。這種設備可以提供與各種材料和基材高度一致的結果,使其成為濺射沈積的可靠和經濟的選擇。
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