二手 CPA / KURDEX XM2000 #9096616 待售
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ID: 9096616
Sputtering system
Cassette to cassette
Throughput: (40) Wafers per run
PLC/PC Control
Chambers
Indexers
Turbo pump and cryopump
Gauges
Air manifold
Motors
PLC
Touchscreen.
CPA/KURDEX XM2000是一種用於將金屬薄膜沈積到基板上的濺射設備。濺射過程由放置在真空室中的多個目標完成，然後使用一個能量來源，例如電或磁性，使離子轟擊目標材料，分解其原子並將其沈積到基板上。CPA XM2000是一種多用途的工業級系統，結合了先進的圓柱磁控管（CFM）配置。這使得設備能夠同時高效地濺射多個目標，從而創建所需的塗層。多目標構型還有助於減少單個目標濺射系統中可能發生的氧化。KURDEX XM2000共有三個可獨立調節高度的目標持有者組件,能夠支撐多個不同大小的目標,從而最大限度地定制濺射過程。它具有一系列先進的控制特性，如高度優化的晶圓級腔室電機、自動提升氣體入口和自動提升基板加熱器，以確保沈積過程中的最高精度。XM2000臺機器配備了先進的過程監控工具，其中包括一個高精度的質量流控制器。數字控制面板提供易於導航的設置和讀數，並允許用戶根據自己的特定需求定制濺射過程。此外,該資產還配備了自動驅動器維護和環境監控例程,以確保正常運行和峰值性能。總體而言,CPA/KURDEX XM2000是一種高效、通用的濺射模型。其令人印象深刻的一系列特點和先進的設計使其能夠快速、可靠地準確地將金屬薄層沈積在基板上。它堅固的結構、高精度的過程監控和可定制的設置使CPA XM2000工業應用的絕佳選擇。
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