二手 CVC 2800LL #135121 待售
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ID: 135121
Sputtering system, depo PVD / PECVD
208V Ac, 3 Phase, 200 Amp & 90~100 psi, 4 cfm
System last used in 1996.
CVC 2800LL濺射設備是一種先進的真空沈積系統,用於在多種基板上生產高質量的薄膜。專門為太陽能發電行業的關鍵組成部分薄膜光伏電池的低成本生產而設計。它由幾個子系統組成:一個基本單元、一個真空泵、一個濺射室和一個控制器。2800LL的基座單元由堅韌的鋁合金制成,具有很高的耐用性和耐腐蝕性。它裝有真空泵和濺射室,以及用於維持所需壓力和監測工藝參數的數字控制器。CVC 2800LL的最大運行壓力為1.8 x 10-6 Torr,可以支撐任何2「至16」的基板尺寸。該單元還配備了一個工藝室窗口,可進行最佳觀看,從而便於檢查工藝。真空泵為兩級旋轉葉片泵,轉速範圍為每分鐘5轉至90000轉。泵的設計目的是盡量減少除氣和減少熱負荷,提供一個持續清潔的室內環境。它還配備了一個安全機器,允許它在發生故障時關閉電源。濺射室本身采用了機械、電氣和軟真空組件的組合,旨在達到最高沈積和可重復性精度。它是一個兩級會議廳,最多可容納八個目標,並配備各種目標持有者和樣本持有者。目標由直流偏置電源供電,使用戶能夠控制基板溫度和沈積速率。這使用戶能夠生產出具有一致性和準確性的薄膜。2800LL是適用於太陽能生產中大多數薄膜應用的高效可靠的工具。它易於使用和維護,並以具有競爭力的價格提供卓越的性能。該資產還具有高級功能,包括雙濺射室、數字過程控制器和過程窗口,以最大限度地提高沈積質量和效率。
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