二手 CVC 601 LL #135391 待售

CVC 601 LL是一種真空濺射設備，為各種薄膜沈積應用而建造。主要用於沈積金屬、電介質和氮化物，以及氧化物和其他化合物。它具有從研發到中小型生產等復雜薄膜應用所必需的所有特性。601 LL采用高端金剛石類碳（DLC）塗層系統，具有先進的多源濺射和快速熱退火。它具有分布式動力架構，具有先進的數字濺射電源，具有可調節的轉向能力，可提供連續的等離子體濃度，同時允許精確控制材料成分。利用高效的低功率電弧抑制電路檢測弧狀條件並立即抑制。該單元的主室采用鋁合金制成，即使在極端條件下也能方便操作。設有高真空室，可進行高質量的薄膜沈積和快速的泵降時間。在門上放置了一個集成編碼器，用於精確控制氙氣流動和關閉腔室。它還裝有OLED顯示屏，用於監控腔室狀況並進行實時調整。CVC 601 LL具有獨特的功能,例如先進的電弧檢測機、峰值電流高達20A的可調功率範圍,以及用於均勻分布塗層的自動基板支架位置控制。該工具為各種材料提供了廣泛的加工窗口，從鋁到金和其他異國情調的合金。601 LL具有橫向氣體輸送資產，允許沈積高反應性物質，如氧化物和氮化物。它提供了一個大面積覆蓋和均勻性控制模型，以生產高質量的薄膜與最小的浪費。此外,CVC 601 LL是一個可靠的設備,其後盾是一個創新的光學聲學系統,能夠以視覺和聽覺的方式提供準確的過程控制條件,以及板載診斷和硬件數據記錄器。它還具有增強的濺射清洗單元和無氫電阻塗層，性能卓越。