二手 CVC 601 #293620652 待售
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ID: 293620652
Sputtering system
CTI Cryopump, 8"
Targets
Copper backing plates, 8"
Roughing pump
MDX Magnetron
Hydraulic hoist chambers
Manuals and spare parts included
Power supply: 220/240 VAC.
CVC 601是由高真空沈積專家CHA Industries生產的高端濺射設備。它是一種集成的、定制設計的設備,用於生產大型基板上的薄膜。它旨在提供卓越的均勻性和控制性,使使用者即使在大的、難以塗覆的基板上也能達到均勻的沈積。該系統包括三個主要組件:濺射源、基板支架和電源。該源設計用於在真空環境中產生離子,而底物則由配有一系列可調節特性的支架保持在位置。電源負責向濺射源和基板持有者的電極提供高壓電流,導致從源釋放的粒子電離,以及沈積過程中基板表面的粒子散射。濺射過程發生在一個孤立的真空室內,工作壓力保持在環境水平以下。為保證顆粒與基板的有效相互作用,可以調整腔室壓力、濺射沈積電流、電壓、濺射持續時間等一系列參數。根據基板材料的不同,基板被放置在一個旋轉的或平坦的支架上,這樣沈積過程可以同時在最多六個不同的表面上進行。為了實時監控濺射沈積,該設備配備了集成顯示器和溫度控制器,允許操作員在必要時進行調整。此外,601還易於與其他系統集成,使操作員能夠快速無縫地將組件添加到其現有生產線中。總體而言,CVC 601機是大型基板上濺射工藝的理想選擇,保證了優質、均勻的塗層。沈積參數的詳細控制,加上易於與其他設備集成的能力,使該工具成為任何生產線的寶貴補充。
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