二手 CVC AST 400 #126819 待售

CVC AST 400
製造商
CVC
模型
AST 400
ID: 126819
晶圓大小: 6"
Sputtering module, 6".
CVC AST 400濺射設備是一種革命性的新型材料塗覆物體系統。它由高真空室、陰極接線和觸點、射頻射頻電源和中央真空泵組成。AST 400濺射機能夠將金屬或其他材料的薄層沈積在各種基板上。CVC AST 400的真空室設計為濺射過程提供超高真空環境,允許薄層材料沈積在基板上而不會對基板造成損壞。腔室裝有高真空和快速循環閥,能夠達到0.001 torr的底壓。該室還具有算法驅動的氣體混合工具,用於更大程度地控制濺射過程。該資產的高效射頻發生器提供了一種可控可調射頻電源,可用於改變材料沈積速率,提供精確的層厚度。發電機配有高降頻、低噪聲放大器,確保射頻功率一致,在濺射時保持恒定水平。該模型配有先進的中央真空泵送設備,可確保真空室保持最佳壓力,以實現高效濺射。真空泵由高精度渦輪分子泵組成,流速可調,能達到0.001 torr的壓力。抽水系統旨在減少維護時間和成本。總體而言,AST 400濺射裝置是一種革命性的機器,用於將材料的薄層沈積到各種基板上。該工具旨在提供卓越的效果,同時降低維護成本和時間。其高效射頻發電機保證了穩定的濺射效果,而中央真空抽油機保證了最優壓力的維持。
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