二手 CVC AST 601 #50089 待售
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ID: 50089
Batch type sputter tool
Specifications:
Chamber: 25 x 7"
(1) 8" target, (3) targets blanked off
Diffusion pumped
RF generator, 1kW
LEYBOLD roughing pump
MINAREK SL-15V speed controller
GIC-410 ion gauge controller
GP-310 Pirani gauge
AVC 485 auto valve controller
Process timer
KR11 autotune power supply
Plasma starter control.
CVC AST 601是在研發應用中為材料沈積而設計的單缸濺射設備。該系統有多種配置,可滿足不同的示例類型和應用程序。該單元使用強大的渦輪分子泵(TMP)來創建一個真空室,在其中發生沈積。TMP能夠在腔內達到高達0.09毫巴的真空。為確保沈積一致,該機配備了預置有壓力、氣體、氣體流量等可編程參數的氣體面板。加工室是一個大的外部穹頂,可以容納直徑最大9厘米(3.5英寸)的樣品。AST 601專為手動操作而設計,需要最少的設置。該工具標配射頻電源,用於輝光放電清洗。腔室無需打開閥門即可裝載,資產內建有關閉閥、自動停機以及溫度和壓力傳感器。CVC AST 601是希望在實驗室或行業環境中將薄膜或塗層濺射到樣品上的用戶的理想選擇。利用其氣體面板和電源,用戶可以精確控制影響沈積的所有參數。此外,該模型的多功能性允許快速、方便地安裝目標材料進行沈積.AST 601與各種目標材料兼容,包括金屬、合金和塑料。考慮到CVC AST 601相對簡單和靈活,它是尋求高效、可靠、易於安裝和操作的濺射設備的用戶的理想選擇。其耐用的設計、強大的氣體面板和可擴展的尺寸使AST 601成為研究和工業應用的完美解決方案。
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