二手 CVC SC 4000 #9106193 待售

CVC SC 4000濺射設備是為大面積塗層應用而設計的一種強大的真空沈積工具。該系統采用先進的三室設計，可實現高通量沈積過程和跨大基板的均勻塗層。它利用專有的磁控管濺射陰極，為高質量的表面飾面提供均勻的塗層速率和精確的層厚度控制。SC 4000設計用於在廣泛的溫度、壓力和尺寸範圍內提供穩定的沈積過程。CVC SC 4000的兩個組分腔是為高沈積速率而設計的。主腔室配有四柱級，帶有載荷/卸載機器人，便於基板切換。該腔室可容納多達四個基片尺寸，直徑可達203mm。在主室中，基板被機器人固定到位，然後被運送到可以發生均勻薄膜沈積的加工區。二級「清潔」室的設計旨在確保所沈積薄膜的最佳質量。它包括一個靜態電荷中和裝置，反應性氣體輸送系統，以及穩定膜生長的受控環境。這個腔室還設有一個可移動的鐘形罐子，以便於接觸單元內的基板。SC 4000濺射機還為特定應用提供了一系列塗層。它可以用多種技術生產氧化物、氮化物、碳和金屬塗層。這包括傳統的濺射過程以及等離子體增強化學氣相沈積，或PECVD。CVC SC 4000濺射工具非常適合最優質的塗層應用。SC 4000以其先進的三室設計和全方位的工藝，為大面積基板提供高效的沈積工藝，得到均勻優質的成品。