二手 DENTON VACUUM Desktop II #9249737 待售

DENTON VACUUM Desktop II是為精密薄膜沈積而設計的先進濺射設備。該系統非常適合研發,采用緊湊的設計,並通過雙基板支架最大限度地提高吞吐量,從而實現並行基板處理。該機組擁有一系列令人印象深刻的特點，包括高真空泵送能力、超寬節氣門機、變頻電源和集成質量流量控制器。Desktop II旨在提供復雜薄膜沈積應用所必需的高性能濺射解決方案。該工具能夠達到<1x10-4 Pa的極限壓力水平，得益於包含了400升/分鐘的渦輪分子泵和大型水冷前線陷阱。超寬節流閥資產進一步有助於創建高度控制的濺射室，並使用戶能夠實現精確的濺射沈積速率。該模型還包括一個能夠進行雙離子轟擊的大功率濺射源。這提供了增強的薄膜結構均勻性和改進的薄膜附著力。變頻電源可以同時支持射頻和直流濺射應用，而集成的質量流控制器使用戶能夠精確控制用於PVD和ALD過程的反應性氣體的流量。該設備還配備了先進的數字控制系統，該系統連接到提供的PC，用於數據監控。該單元還允許用戶創建和存儲可重復性和提高機器性能的配方。該工具符合業界最嚴格的安全標準,旨在以最低的維護要求運行,以優化正常運行時間。總之，DENTON VACUUM Desktop II是精確度和吞吐量最高的薄膜沈積應用的終極解決方案。其強大的濺射源和豐富的特性設計使其成為微電子和光電工業研發應用的理想選擇。