二手 DENTON VACUUM Desktop #9070115 待售

ID: 9070115
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6".
DENTON VACUUM Desktop (DVTD)是一種濺射設備,旨在方便完整的真空薄膜塗層工藝。它可以用於薄膜電子、硬質塗層、光學薄膜等等應用。DVTD由濺射室、陰極組件和可調目標組成。濺射室采用不銹鋼制成,具有創新的雙壁設計。這種設計創造了一種持久、高真空的靜態氣氛,提供了最佳的濺射環境。腔室還配有測量壓力的真空計、安全閥和排氣口。陰極組件是濺射過程的關鍵部件,由銅網材料制成。這使得它可以提供均勻濺射所必需的磁場均勻分布。它連接到一個可以控制以調整強度的電源,並配有磁性屏蔽裝置,以保護目標免受可能的磁化。可調目標確保沈積在基板上的材料厚度均勻。它由不銹鋼製成,設計為容易上下移動,以調節陰極與基板之間的距離。目標也可以以「L」形移動,這使得它可以在任何方向上轉動,以便於控制通量的方向。為保證良好的塗層性能,DVTD配備了多項防護功能。設有水冷系統,確保高效傳熱,防止熱損傷。該裝置還設計有接地故障和過流保護裝置,以及在發生危險情況時切斷電源的緊急開關。總體而言,Desktop是一個有效的濺射裝置,可方便整個真空薄膜塗層過程。其創新的設計提供了耐用、高真空的靜態氣氛,適合均勻濺射,而其可調的磁性屏蔽則能夠精確控制通量的方向。機器中包含的眾多保護功能還確保塗層過程安全高效地運行。
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