二手 EDWARDS S150B #293809357 待售
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ID: 293809357
Sputter coater
Boro silicate glass
Implosion guard
Water cooled copper specimen table, 4"
Sputtering rate: 60 nm per minute
E2M2 Rotary vane pump
Automatic reset
(4) Cathodes
Vacuum measurement:
Pirani 10 Control unit: 5 mbar
PR 10-K Gauge head
Power supply: 220~240 V, 5 Phase, 50 Hz.
EDWARDS S150B是在先進的半導體、光學和電子制造應用中為薄膜沈積設計的高性能濺射設備。該系統提供先進的技術和卓越的性能,以滿足現代薄膜沈積工藝的苛刻要求。EDWARDS 150 B利用磁控管濺射技術將各種材料的薄膜以高精度和均勻性沈積到基板上。磁控管濺射(Magnetron sputtering)是一種物理氣相沈積(PVD)過程,其中目標材料被高能離子轟擊,導致原子噴射並沈積在基板上形成薄膜。S150B的一個關鍵特點是其先進的真空裝置,它提供了一個高真空環境,這對於實現高質量的薄膜具有良好的附著力和均勻性是必不可少的。真空機包括高性能渦輪分子泵、低溫泵等部件,保證沈積過程中的低基壓和高效氣體排出。S 150 B的濺射室設計為最大的多功能性和易用性,具有可自定義的配置,以適應各種目標大小和形狀。腔室配有原位過程監測和控制系統,以優化沈積參數,確保多次運行的薄膜性能一致。EDWARDS S150B具有最先進的磁控管源,可提供高目標利用率和均勻的濺射速率。磁控管源可以很容易地配置成反應性濺射過程,使復合薄膜的沈積具有精確的化學計量控制。為了提高流程的靈活性和生產率,EDWARDS S 150 B配備了一個先進的自動化工具,允許配方驅動操作、實時監控流程參數和遠程控制功能。此自動化資產使用戶能夠以最少的人工幹預輕松設置和執行復雜的沈積過程,從而提高了過程的可重復性和效率。除了先進的技術功能外,S150B還具有用戶友好的功能,可簡化維護和故障排除任務。該模型包括全面的診斷和錯誤報告工具,可快速識別和解決問題,最大限度地減少停機時間並最大限度地提高設備正常運行時間。總體而言,S 150 B濺射系統是研究和生產環境中薄膜沈積的一種通用、可靠的工具。其先進的功能、卓越的性能和用戶友好的設計使其成為需要精確控制薄膜性能和卓越工藝可重復性的應用程序的理想選擇。
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