二手 ELECTROTECH MS 6210 #9396125 待售

ELECTOTECH MS 6210是一種高科技濺射設備,專為需要薄膜沈積的廣泛應用而設計。該系統是從半導體加工到儲能等眾多行業的寶貴技術。MS 6210由各種組件組成。主要元件包括可調節的RF/DC電源,輸出功率最高為1000W,以及可調節的高壓電源,可用於提升功率或防止功率超過預定的電平。該單元可配備兩個5英寸或9英寸濺射源，一個1英寸離子源和一個1英寸可旋轉基板支架。濺射源的基座由鋁制成，設計用於近乎靜音的操作和低熱量的產生。ELECTOCECH MS 6210的溫度可以通過其內置的溫度測控方面進行監測和控制。濺射機具有可容納高達10-5托（.00001帕斯卡）真空的真空室。室內可達到的工作壓力高達4 x 10-3 torr。濺射工具的操作由基於Windows的控制資產控制,該資產可通過腳踏板訪問。濺射過程本身由反應性濺射沈積驅動，利用兩個低壓射頻耦合濺射源。反應性濺射沈積是一種通過將受控大氣中的目標材料濺射到基板上生長的薄膜中來沈積薄膜的方法。這使得大量化學計量的均質薄膜能夠以高密度和對薄膜成分的完全控制來構建。MS 6210是沈積C、W、Al、TiN、CrN、Ti和Ni合金的理想選擇。二次過程如蝕刻、離子輔助沈積、熱氧化可以與反應性濺射沈積相結合，從而能夠額外控制折射率、表面紋理、硬度等薄膜性質。總之，ELECTOCECH MS 6210是一種用途極為廣泛的濺射模型封裝，對一系列薄膜沈積過程提供了極好的控制。其可調射頻/直流電源、可調高壓電源、溫度測控、集成真空室和基於Windows的控制設備使其成為任何濺射應用的絕佳選擇。