二手 EMITECH / EDWARDS K575X #293608604 待售

EMITECH/EDWARDS K575X是一種用於薄膜沈積在基板上的濺射設備。它由四個主要組件組成：高性能電源、離子源、離子光學器件和真空室。電源提供必要的電壓，高達5千伏，以產生含有離子和電子的等離子體羽流。離子源是同軸輝光放電電極陣列，提供低壓、小放電的均勻等離子體場。離子光學器件由內部和外部網格組成，用於過濾離子並確保均勻的離子轟擊底物。真空室是密封的，設計用於維持所需的氣氛，並在沈積過程中包含所有濺射物質。EMITECH K575X系統能夠沈積多種材料，包括金屬、氧化物、氮化物和合金。金屬膜可以高沈積速率沈積，快速、經濟地沈積薄膜層。濺射材料高度均勻，不含針孔、漂移或裂紋。氧化物、氮化物和合金可以以較低的速率沈積，但均勻性增加。該腔室旨在保持最佳沈積條件，包括壓力、工藝氣體、目標間隙和基板溫度。腔室能夠受到汙染，需要定期清洗，以確保所需材料的最佳沈積。該設備可以通過SEMI-standard工藝實現自動化,從而能夠輕松集成到現有生產線中。各種配件，如迷你腔室、基板支架和工藝模塊，都可用於特定工藝。EDWARDS K575X是制造大面積基板、細粒多層薄膜和精密塗層的理想機器，可用於各種工業和研究應用。該工具還能夠生成高度可靠的數據，包括厚度、均勻性和其他參數，以便對沈積過程進行最佳控制。