二手 EMITECH / EDWARDS K575X #293608605 待售

EMITECH/EDWARDS K575X是一種高端濺射系統，用於沈積金屬、合金和氧化物等材料的薄膜，用於各種研究和工業應用。該系統由射頻電源、磁控管電源、真空室和工藝氣體調節器組成。射頻電源為固態、高功率電源，頻率為13.56 MHz，最大輸出功率為35千瓦。這樣可以在大面積上精確控制厚度和規定的塗層參數。磁控管源利用永磁控制等離子體形狀，並具有可調節的電源和調諧控制，用於控制等離子體參數。這樣可以在大面積上實現目標材料的均勻沈積。真空室由不銹鋼構成，容量2立方米，底壓小於5x10-5毫巴。它與幾種類型的基板兼容，包括扁平或圓柱形基板，基板尺寸直徑可達200毫米。它還包括氣體入口和廢氣，允許在濺射過程中添加反應性氣體，以改善膜的性能。過程氣體調節器允許調整過程氣體壓力，使用直列表可以快速監測。這允許精確控制獲得所需薄膜特性所需的工藝參數。此外,它還具有雙區域功能,允許將不同的參數應用於同一運行中的不同基板區域。EMITECH K575X是功能強大且用途廣泛的濺射系統,具有許多功能,可實現高效、精確的濺射過程。適用於研究和工業應用，如半導體和光電器件薄膜的沈積。