二手 EMITECH / EMCORE K575 #9028726 待售

EMITECH/EMCORE K575濺射設備是一種先進的薄膜沈積裝置，主要用於研發。它是K系列系列濺射系統的最新型號。其設計提供了精確的控制和高水平的可重復性，使其成為各種薄膜沈積應用的最佳選擇。通過使用優化的單級數字「開環」射頻電源增強了EMCORE K575濺射系統,該電源可提供精確的參數設置、可重復沈積和高吞吐量。頂端加載線圈和磁鐵布置采用了一種新穎的單crucible設計，方便了各種應用序列的快速配方執行。EMITECH K575具有直觀的4.5英寸彩色液晶觸摸屏控制界面,易於設置和使用,以及嵌入式PLC,可通過遠程I/O連接進行自定義程序控制。它可以與各種PLC模塊一起使用,以實現復雜的過程實現。該單元本身由兩個主要組成部分組成：主體和工藝模塊。主體容納了操作所需的所有組件。這包括PLC、電源、氣流控制、射頻電源以及薄膜沈積的腔室。可以定制工藝模塊,以便為不同的塗層應用啟用各種實施方案。Process模塊由一個鋁合金保管室組成，其插槽設計用於便於物料資源的插入和物料加工完成後的清除。它還裝有一個無線遙控器，可以用來從遠處控制整個機器。此外，該模塊還利用先進的控制算法對整個沈積工具進行數字化參數設置和精確控制。K575是研發以及各種工業生產應用的理想選擇。提供穩定的射頻功率輸出、精確的參數設定，以及可靠、高質量的薄膜沈積工藝。它直觀的觸摸屏界面、可編程PLC和無線遠程功能使這種濺射資產成為一種極其用戶友好的設備。