二手 EMITECH SC7620 #9258013 待售

EMITECH SC7620是一種設計用於薄膜沈積的高性能磁控管濺射設備。SC7620具有先進的體系結構和專利的多點電源控制,具有極好的沈積均勻性和控制性。它具有雙目標濺射源和先進的源屏蔽，用於精確的濺射沈積控制。該源包括一臺高功率射頻發生器、一個不銹鋼陰極和一套四個陶瓷濺射靶子。針對低電壓、大電流濺射等各種工藝參數進行了優化。EMITECH SC7620擁有獨特的專利多點電源控制系統,提供精確的沈積均勻性和控制性。此功能允許用戶將濺射電源的電源二分法，平衡目標區域，從而產生高度均勻的薄膜。SC7620使用直接驅動目標定位裝置，確保在濺射塗層過程中濺射目標與基板直接接觸。這款直驅目標定位機由控制器板精確控制，在基板表面提供均勻厚度。該工具還允許使用多個目標進行多層沈積。EMITECH SC7620具有強大的編程能力,用途廣泛,可調.它具有廣泛的編程選項，允許靈活性和有針對性的沈積。高級可編程功能包括電源控制、過程定時設置和逐步沈積配方。SC 7620的集成溫控資產在整個過程中保證了層的均勻性。模型的高級溫度控制設備可以選擇配置N2旁路,允許溫度高達600 °C。EMITECH SC 7620內置的高級安全功能包括緊急停止、溫度控制和多次安全關閉。這些功能可保護樣本、系統和環境免受潛在危害。SC7620是薄膜精密薄膜層沈積的理想選擇,適用於塗層、MEMS、光學、傳感等應用。