二手 EVATEC MSP 1232 #293628037 待售

EVATEC MSP 1232設備是一種高科技濺射系統，旨在生產極薄的薄膜。該機廣泛應用於復雜結構和裝置的制造。MSP 1232具有獨特的多軸多源配置,能夠在大面積上生產厚度均勻、階梯覆蓋良好的薄膜。EVATEC MSP 1232具有六個獨立的源，帶有8板磁性屏蔽。這允許在大面積目標上直接沈積薄膜，使其成為顯示器、半導體和MEMS等應用的理想選擇。此設置還為不同的設備體系結構提供了高沈積均勻性和出色的步進覆蓋。MSP 1232在同一單元內設有兩個獨立的沈積室。這允許同時濺射兩個不同的元素。通過使用獨立控制器，這種多源配置啟用了一個元素的優化屬性，而另一個元素可以具有不同的源大小和功率。這種雙室機器還允許生產部分氧化和金屬矽化物。EVATEC MSP 1232與多種直流和射頻電源兼容，使得多種材料可以沈積。其集成的計算機控制工具允許對功率、時間、壓力、溫度等沈積參數進行精確控制。它還具有創新的晶圓跟蹤資產，可以在濺射過程中準確監測樣品的狀態。MSP 1232是用於研究和工業應用的薄膜生產的理想模型。它的多源設計使得復雜薄膜在大面積上的均勻沈積具有極好的步長覆蓋和可重復性。其先進的計算機控制設備使得在不影響質量的情況下輕松實現所需的控制。此外,它與各種材料和電源的兼容性使其成為現代濺射工藝的理想選擇。