二手 EVATEC Radiance BPM5 #293650365 待售

EVATEC Radiance BPM5是一種高功率磁控管濺射設備，設計用於在大基板上沈積導電、溫度敏感和極薄的材料。其設計目的是在薄膜沈積領域提供最高的均勻性和成本效益。它是一個先進的平臺，具有高精度、低濺射功耗、高沈積速率和優良的可重復性。輻射BPM5配備了可變功率的稀有氣體發生器、高功率濺射槍、真空室、高精度運動系統、炮塔濺射去中心和真空泵送系統。可變功率的稀有氣體發生器在整個目標區域提供了均勻的氙氣分布，而濺射槍則用來激活目標，使其熔化並粘附在基板上。高精度運動系統、炮塔濺射沈積中心和真空抽油機的結合，可以實現精確的沈積過程。EVATEC Radiance BPM5具有沈積多種材料的能力，包括導電材料和溫度敏感材料，具有非凡的均勻性。沈積均勻性是通過目標的水平運動實現的，不需要任何加熱。此外，低濺射功耗和高沈積速率相結合，確保了所需材料的快速高效沈積。目標制備是濺射機中的重要組成部分，輻射BPM5是考慮到這一點而設計的。它使用目標預處理工藝，防止目標氧化，從而確保可靠的結果。此外,該工具還配備了自動化目標交換功能,可方便地準備多個目標,並大大減少濺射過程中的停機時間。除了沈積能力外，EVATEC Radiance BPM5還提供高級監控功能，以確保可靠和一致的結果。它裝有一個集成的控制器和數據記錄資產，可以讓用戶實時精確監控、測量和分析流程。這反過來又能更快地排除故障和優化過程,從而提高產量和均勻性。綜上所述，輻射BPM5是一種先進的濺射模型，具有顯著的沈積均勻性、低濺射功耗、高沈積速率和優良的再現性。它非常適合各種材料在大型基板上沈積，能夠每次產生高質量和高度可靠的結果。