二手 EVATEC Radiance #293650368 待售
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EVATEC Radiance是EVATEC開發的一種完全集成、通用的物理氣相沈積（PVD）濺射設備。該系統非常適合金屬、合金、電介質和氮化物在各種基板上的沈積，具有多種獨特的特點，能夠比傳統系統更好地控制、靈活和高效。輻射利用兩個截然不同的組件來實現特殊的濺射性能：電源和工藝室。電源單元結合了最大功率輸出、調頻、速變目標技術和先進的控制算法，從而保證了低溫沈積操作和優異的工藝重復性。腔室本身設計為與幾種類型的沈積材料兼容，並具有與目標分流箱耦合的優化電子束，使其能夠低溫濺射較薄或較厚的薄膜。其專門設計的絕緣體堆棧可確保出色的抗雜散磁場保護,並確保整個基板上的材料成分均勻。與所有EVATEC系統一樣,EVATEC Radiance機器采用了用戶友好的圖形控制界面。此接口允許根據流程要求輕松調整所有參數,也可用於監控和數據記錄,以便進行質量控制。此外,集成的目標和基板加載系統大大提高了吞吐量速度,使單個晶片的處理速度比傳統系統快三倍。總之,對於需要最終濺射性能的應用程序,Radiance工具是一個理想的解決方案。EVATEC Radiance結合了卓越的功能、先進的內置控制算法、用戶友好的圖形界面以及在不同材料需求之間快速切換的能力,能夠在最短的停機時間內提供高度可重復的操作和卓越的影片質量。其卓越的靈活性有助於使Radiance成為各種濺射應用的理想選擇。
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