二手 EVATEC Radiance #293650371 待售
網址複製成功！
單擊可縮放
EVATEC Radiance是EVATEC開發的一種最先進的濺射設備，它結合了高沈積速率和特殊的均勻性測量。該設備特別適合光學、顯示器、光伏、數據存儲和MEMS等工業應用。它具有獲得專利的DynamiK®目標交換器、SputterFlow雙源電源和Quick-Connect®目標安裝。DynamiK®目標交換器是一種電動目標交換器,目標輸入/目標輸出周期時間小於50秒。這樣可以實現高吞吐量和目標之間的快速交換。SputterFlow雙源電源設計用於確保在不同目標之間切換時平穩的電源轉換。這增強了沈積層的均勻性。Quick-Connect®目標安裝座的設計采用了快速更換安裝系統和可調節的目標高度。這有助於簡單、快速的目標安裝和交換。除了先進的設計，Radiance單元還提供了廣泛的工藝參數。這包括目標到基板的距離高達30厘米，功率範圍從10W到1500W，多種源氣體和高達150 mtorr的間隙閉合。該機還獲得了超高真空應用的認證，提供10-7 mtor的底壓。這使得它非常適合於超薄層的沈積。EVATEC Radiance提供各種腔室大小,可手動操作或完全自動化。還可以添加一個可選的射頻（RF）源，從而提高沈積均勻性和更高的沈積速率。總體而言,該工具為高性能濺射過程提供了一個交鑰匙解決方案。
還沒有評論