二手 EVATEC Radiance #293818719 待售
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EVATEC Radiance是用於各種應用的最先進的濺射設備。它采用了獨特的設計，結合了脈沖直流（PDC）技術與低磁場射頻濺射源的優點。它有五個處理室，相互連接，形成一個內聯系統，旨在處理復雜的處理需求。該機組包含雙頻電源、低壓真空泵、進氣機、等離子體監測工具和四個獨立的PDC濺射源。Radiance的電源能夠以雙頻運行，這使得脈沖模式能夠精確調整脈沖長度、功率設置以及所需的直流偏移。真空泵用於保持資產中的壓力，氣體入口模型註入所需的氣體進行濺射。等離子體監測設備提供濺射功率和等離子體過程參數的實時測量。四個獨立的PDC濺射源用於均勻沈積薄膜。EVATEC Radiance的各種工藝室設計為為特定應用提供最佳的均勻性和沈積速率。主室配有標準的旋轉濺射靶，用於存放優質薄膜。第二個腔室包含兩個固定的目標，專門設計用於生產具有精確沈積剖面的薄膜。第三室和第四室配有提供高精度粘附和紋理控制的三電極二極管源。第五室設計用於生產反應性薄膜，具有等離子體活化和改進分離的特殊特性。輻射是一個可靠的濺射系統，滿足各種應用的需要。它在薄膜沈積速率、精密的附著力和質地控制、精密的功率調節以及先進的氣體噴射裝置方面具有極好的均勻性。它還提供等離子體工藝參數的實時監控，以及監測和調整PDC源功率設置的能力。所有這些特性使得EVATEC Radiance成為汽車、電子、醫療設備等行業各種應用的合適選擇。
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