二手 EVATEC Radiance #9144241 待售

EVATEC Radiance是一系列濺射系統，旨在滿足世界領先研究機構和行業的需求。Radiance的功能集在無功和非無功系統中都提供了卓越的性能,可以為各種應用制造薄膜。該平臺基於革命性的E- Layer™技術,這是一種從多種來源進行高級材料沈積的方法,有利於提高質量、加強控制和縮短生產時間。EVATEC Radiance平臺具有一系列高級組件，包括高級電源、過程控制器、目標電源和風冷射頻發電機。該電源針對高質量的濺射沈積進行了優化，具有可調節的電壓和電流值，可精確控制濺射過程。控制器提供嚴格的過程控制,提供準確的重復性以及實時監控和調整參數的能力。射頻發生器設計用於無功過程的最佳射頻等離子體，功率和頻率可調，適合應用。輻射系統具有各種先進的沈積室，可提供更大的生產可變性能力，提高靈活性和提高沈積率。通過利用多個腔室，可以提高吞吐量，並且可以精確調整和評估每個特定過程，而不會犧牲其他過程。這些腔室的設計目的是提供均勻的厚度層，並最大限度地減少排出氣體和其他與沈積有關的缺陷。EVATEC Radiance平臺還包括一些旨在提高安全性、改進人體工程學和減少停機時間的功能。安全功能包括自動監測工藝參數以確保不超過設定的目標，以及在緊急情況下廣泛的聯鎖和自動關閉。優化的人體工程學提供了可調的工作高度以及直觀的圖形用戶界面。該系統的兩臺獨立真空和工藝電動機設計用於延長使用壽命,並且板載LAN連接便於快速維護、系統監控和數據傳輸。綜上所述,Radiance是一個全面、高性能的濺射系統,旨在滿足當今領先的研究和生產環境的需求。通過結合高級特性和組件,它提供了卓越的工藝控制、高質量的沈積以及改進的安全性和人體工程學。該系列適用於各種應用，從薄膜的生產到制造序列濺射產品。