二手 FHR Line 2500H #293811319 待售

FHR Line 2500H是一種最先進的濺射設備，設計用於半導體、光學和研究行業的高性能薄膜沈積應用。由真空塗層設備領先制造商FHR Anlagenbau GmbH開發的Line 2500H代表了濺射技術的最新技術進步。FHR線2500H系統的核心是一個具有多個加工站的高真空室，每一個都裝有磁控管濺射源，用於沈積高精度和均勻性的廣泛材料。該單元設計為容納直徑可達300毫米的基板，適合大規模生產和研究應用。管線2500H具有精密的控制機器,可精確控制濺射過程參數,包括沈積速率、薄膜厚度、組成和均勻性。該工具能夠在直流和射頻濺射模式下運行，在過程開發和優化方面提供靈活性。FHR管線2500H的主要特點之一是其先進的基板處理資產，確保了基板的高效裝卸，同時保持了較高的工藝清潔度。該模型配備了一個機械臂，可以在加工站之間以高精度和可重復性轉移基板，最大限度地減少停機時間，提高生產率。線路2500H還配備了一套全面的安全功能，以確保操作員的保護和設備的可靠性。其中包括聯鎖和傳感器,用於監控系統參數（如真空水平、氣流和溫度）,並在出現異常時觸發自動關機。FHR線2500H中的濺射源設計具有較高的目標利用率和長期穩定性，確保了膠片質量一致，最大限度地減少了維修停機時間。該機組還配備了原位工藝監測能力，如光發射光譜和石英晶體微平衡，允許對沈積工藝進行實時監測和工藝參數的反饋控制。Line 2500H除了具有高性能外,還考慮到了可擴展性,可輕松集成額外的加工站或升級,以適應未來的工藝需求。該機器還得到FHR技術專家團隊的支持,他們提供安裝、培訓和持續支持,以確保工具的最佳性能。總之，FHR Line 2500H濺射資產是高性能薄膜沈積應用的通用可靠工具，提供先進的能力、精確的控制和可擴展性，以滿足半導體、光學和研究行業不斷發展的需求。其尖端技術和強大的設計使其成為尋求高質量濺射解決方案的研究人員和制造商的首選。