二手 HABOR HWT-250 / PSA-15 #293666753 待售

HABOR HWT-250/ PSA-15濺射設備是為薄膜沈積在基板上而設計的。適用於多種應用，包括半導體器件制造、晶圓級封裝、表面改性以及多種研發項目。該系統由主室組成，主室由不銹鋼構成，包括一個泵送單元以及一個電源、旋轉級和控制面板。真空是由粗加工泵和渦輪分子泵組合而成，提供高達10ˉ¹毫巴的真空。沈積過程由磁控管射頻濺射源實現。將目標材料加熱到所需溫度，然後濺射到基板上。目標材料的溫度可以通過可以針對不同材料進行調節的電源來控制。電源可以在頻率和功率輸出方面進行調節。這允許在沈積不同薄膜時進行精確控制。控制面板用戶友好,允許存儲自動沈積和多個配方。另外，旋轉級可用於在單個基板上生產多層薄膜。使用測量膜成分的OES檢測器監測沈積的均勻性。該機具有多種特性，保證了薄膜的可靠沈積。它具有工具冷卻資產,可確保在重載時正常運行。快速的負載鎖定允許快速的基板傳輸時間。空氣軸承模型有助於確保基板的均勻旋轉並確保平穩運行。此外，該設備還提供建築材料的可追蹤性，並通過十億分之一的控制提供環境控制。這樣可以確保產品的清潔沈積過程和均勻性。由於系統對用戶開放,因此可以在必要時執行手動過程。這包括手動調節電源、監控薄膜生長或精確控制沈積時間等事情。該設備還提供了多種診斷方法,可用於故障排除,例如表面汙染和氧化測試。HWT-250/ PSA-15濺射機是一種可靠、用戶友好、堅固、均勻、準確的薄膜沈積工具。它允許為眾多應用生成各種薄膜。該工具配備了薄膜高精度沈積所需的所有特性。