二手 HITACHI E-1010 #293638499 待售

HITACHI E-1010是實驗室中用於各種研發應用的最先進的濺射設備。該系統是一個封閉單元，能夠處理從基板兩側的真空基板沈積，並計劃將基板生長和擴展到更大、更復雜的基板。它配備了最先進的靜電屏蔽，用於離子和粒子軌跡的低壓和低強度擴散，為敏感的基板和組件提供了優越的保護。濺射槍融合了石墨襯裏，有大量的石墨弧絲，提供了濺射材料的均勻平滑過渡。弧絲延伸至整把槍，提供均勻的濺射操作。濺射槍包含一個雙點部分，具有四電極機，能夠提供高電流、高脈沖速率、功率沈積。該工具專為小型和大型顆粒而設計,可提供極快的塗層性能,並最大程度地減少組件的加熱。HITACHI E1010還包括提供平行和橫截面蝕刻的雙端蝕刻功能。這樣可以在濺射過程後對基板或組件進行精確的分析和檢查。這項資產還包括一個可以在三維空間內操作的機械臂，允許從任何角度輕松調整基板臺和簡單進入濺射槍。E-1010是一種全自動濺射模型,具有規劃和監控功能、槍支自動化和整體基板管理,以及用戶友好的圖形用戶界面（GUI）。它靈活易用的軟件還允許數據輸入和記錄，具有可調的濺射參數和整體設備管理。它還具有獨立的批量管理和配方管理，以及實時壓力和溫度管理。最值得註意的是,E1010通過實驗室級壓力監測儀II系統提供高級診斷。該單元提供準確的壓力反饋，並顯示過程所有階段的最佳濺射條件。此外，該機可以在真空室或刺刀式濺射槍上操作，使其適應各種類型的基板沈積。總體而言,HITACHI E-1010是一種高級濺射工具,可為各種應用程序提供精確且可重復的結果。憑借其強大的濺射槍、同步蝕刻集成、自動化能力、壓力監測功能，是精密基板沈積的綜合綜合資產。