二手 HITACHI E-1010 #9284034 待售

HITACHI E-1010是專為薄膜沈積應用而設計的全自動濺射設備。它配有濺射頭室、基板室、電極組件、電源和控制器單元。該系統能夠生產出質量好的薄膜，並提供物超所值。適用於薄膜沈積、透明導電氧化物（TCO）沈積和氧化物/金屬層的應用。濺射頭室的設計提供了一個完全均勻的膜沈積在基板的面積。它裝有一個可調節的離子計，用於控制腔室內的壓力和近距離監測真空計。在進行沈積時，利用基底腔使基底保持在最佳視圖位置。它配有一個快門，用於在基板上提供最均勻的薄膜沈積。電極組件包括兩個電極，其中一個是源，另一個是目標。電源用於向電極提供電能以實現濺射過程。控制器單元為濺射頭室、基板室和電極組件提供控制信號，確保精確、均勻的薄膜沈積。HITACHI E1010單元為濺射操作提供了多種好處。其最大濺射速率高達0.25對/分鐘，最大沈積速率為8nm/min，是高通量的理想濺射機。此外,堅固耐用的設計可隨時間推移提供良好的穩定性,並保證在多層沈積、薄膜沈積和透明導電氧化物（TCO）沈積等應用中的卓越性能。靈活的配置選項對於自定義應用程序特別有用。E-1010濺射工具是一種用於濺射操作的強大而可靠的資產,可提供卓越的成本效益,使其成為各種薄膜沈積應用的絕佳選擇。它提供了性能、質量和物有所值的良好組合，使其成為薄膜沈積行業任何人的絕佳選擇。