二手 HITACHI E-1010 #9379359 待售

HITACHI E-1010 Sputtering Equipment是一種用途廣泛的高精度濺射設備,專為薄膜沈積應用而設計。它是一種經濟且高度自動化的工具,可用於研究和生產級別的應用。HITACHI E1010是一個可擴展的系統，為金屬、氧化物和氮化物的沈積提供解決方案。該裝置有一個7軸機器人手臂，允許均勻的物料層沈積在大小和形狀各異的基板上。最大基板尺寸為192 mm x 192 mm,最大基板重量為30kg, E-1010可以處理各種基板,包括剛性、柔性和彎曲零件。可以達到高達5：1的高長寬比，並為多層共焦濺射提供支持。E1010機器裝有等離子體增強濺射源。這允許增加沈積率，從而提高吞吐量和改善基板覆蓋率。濺射源也可用於在單個沈積步驟中沈積多層，進一步推進工具的多功能性。E-1010的濺射資產為目標選擇、薄膜厚度、蝕刻和沈積速率提供了廣泛的工藝控制參數。可以存儲和召回自動化配方,以提高操作效率,並且可以實時監控目標侵蝕和薄膜厚度。HITACHI E-1010支持多個腔室配置，允許多個濺射源同時運行。HITACHI E1010具有小巧而堅固的框架和模塊化設計,專為可靠性和易於擴展而設計。該型號還允許通過選擇附件進行定制，如微定位器、電子槍和基板處理系統。總體而言,E-1010濺射設備是一種價格合理且用途廣泛的濺射工具,專為需要高精度和重復性的應用而設計。該系統易於使用、可靠,處理速度快。此外,該設備支持多種配置,非常適合各種薄膜沈積應用。