二手 HITACHI E-1030 #9117361 待售
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HITACHI E-1030 Sputtering Equipment是專門為特別精細的工作而設計的設備。它將多種不同的材料濺射到基板上,包括金、鋁、鉻、銅、鈦等金屬,以及矽、二氧化矽等其他材料。系統使用高密度電子束槍將選擇的氣體電離,然後將離子加速到基板表面。這一技術允許以精確和一致的方式重新沈積目標材料,使操作員能夠對過程進行最高程度的控制。該裝置設有一個閉環真空室,以確保清潔和無汙染的環境,保護有價值的基板。基壓1 x 10-5毫巴,最高加工溫度350 °C,適合多種細膩工藝。它還配備了車載氣體過濾器,使操作員能夠快速、方便地過濾各種不同的氣體。機器有各種控制,以確保精確的過程.例如,它利用一個可調節的電源,允許精確調節槍的電離功率。這允許沈積極小沈積誤差的薄膜或厚膜。它還具有頻率為0.01至100 Hz的可編程沈積速率,允許操作員微調基板的沈積速率。E-1030濺射工具是一種可靠的專用設備,非常適合大型生產或其他更復雜的項目。它是薄膜沈積應用的理想解決方案,提供精確的控制。它堅固的設計和幹凈的操作使得它成為任何需要可靠和一致結果的過程的絕佳選擇。
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