二手 HITACHI E-1030 #9377261 待售

HITACHI E-1030是一種高性能的直流混合濺射沈積設備,它提供了速度、均勻性和過程靈活性的組合。它是將薄膜濺射沈積到半導體、玻璃等材料上的有力工具。E-1030的核心是使用高頻交流/直流電源開關和線性直流/直流變換器進行功率調節。這個功能強大的系統能夠在五個濺射源之間提供高達1.5kW的濺射功率,每個濺射源的目標功率水平可調,從0.5到200W。該裝置還具有一個可選的自動目標功率控制均勻膜沈積.HITACHI E-1030獨特的線性DC/DC轉換器也允許從0.1到100 nm/min的可調濺射沈積速率。該機器能夠生產具有高度保形塗層和特征定義的氧化物、金屬和其他材料。E-1030的可調濺射源設計為無論底物尺寸如何，均提供薄膜的均勻沈積。刀具的自動目標電源控制功能可確保沈積發生在適當的目標電源級別,而不管基板尺寸如何。HITACHI E-1030的多區功能允許用戶在同一基板內的多個位置或區域上分別濺射。該資產還包括一個用於將薄膜精確定位和沈積到基板上的自動對準模型。E-1030是為提供定性沈積率和加強過程控制而構建的。其自動聯鎖設備保證了過程的穩定性和過程的可重復性。系統的集成控制面板實時顯示沈積參數，實現了快速、均勻的過程控制。此外,高級實時監控單元允許對流程數據進行審查和流程優化。HITACHI E-1030是一種高度通用的機器,非常適合廣泛的濺射沈積應用。E-1030具有高電流、高吞吐率、快速電源切換和靈活的過程控制，是濺射沈積的絕佳選擇。