二手 HITACHI IML6-1 #9172028 待售

HITACHI IML6-1是一種用於塗覆材料和制造薄膜設備的高性能濺射設備。它具有完整的6軸機械級和真空室，可以在水平或垂直方向操作。該系統還擁有多種基板支架，以容納多種基板，如玻璃、金屬、塑料和陶瓷。該裝置采用低壓、低能離子加速器，光束電流高達1mA rms，寬光束光斑尺寸為30 mm。可調光束能量，加上先進的高密度等離子體控制，使得各種金屬、介電和復合薄膜利用一系列濺射源得以高效沈積。IML6-1設計用於提供質量優良、缺陷程度低的塗層工藝。其先進的腔室和源設計通過控制濺射粒子等離子體密度和能量密度的均勻性，以及金屬附著力和薄膜均勻性，確保了覆蓋的均勻性。此外，它還配備了先進的等離子體監測機，精確控制等離子體定位和過程均勻性。該工具還包括用於控制真空壓力、氧氣含量、氣體註入和溫度的最先進的系統。這使操作員能夠密切監視流程並確保最佳流程結果。HITACHI IML6-1配備了直觀的圖形用戶界面，使其易於使用，並允許用戶快速、輕松地監控和調整資產參數。它還得到大量在線文檔的支持,包括故障排除指南、操作說明和使用提示。IML6-1是在嚴密控制下需要卓越濺射性能的項目的理想選擇。其卓越的基板磨損保護和等離子體控制技術幫助它提供可靠的質量膜，即使要求很高的材料。