二手 INNOTEC DS 24 #2736 待售

INNOTEC DS 24是適用於大小目標的高性能濺射設備。濺射系統采用24kW直流目標電源供電，適用於生產和研究應用。它具有先進的工藝控制和監控單元，易於控制和調整濺射參數。這確保了該過程是可重復和可重現的,以獲得一致的高質量結果。該機器能夠濺射多種材料，可以沈積高達100 nm厚的薄膜。多功能濺射室可以配置幾個目標，適合各種尺寸和形狀。該室還配備了相鄰定位的源和基板支架，在定位基板和目標時允許了很大的靈活性。DS 24具有多種冷卻選項,包括快速掃描和緩慢掃描冷卻配置。它還具有高精度的EDAX EDXRF能量色散光譜儀，能夠快速測定濺射膜的元素組成。EDAX工具還通過其高速光譜儀和高達每小時15個樣品的吞吐量提供高速分析。濺射資產還有一個專用的真空模型，配備了一個18 m3/h的渦輪分子泵站。這樣可以確保設備保持清潔，確保薄膜沈積工藝的最佳工作條件。此外，INNOTEC DS 24提供智能報警和監測系統，允許及早發現系統故障，並留出時間糾正問題，以免問題變得嚴重。它還收集了一系列過程監測工具，使研究人員能夠優化其過程並微調沈積參數，以取得預期的結果。總體而言,DS 24是一款先進但用戶友好的濺射設備,可提供可靠且可重復的工藝性能。適用於要求苛刻的生產和研究應用，其智能系統使其成為薄膜沈積領域的寶貴工具。