二手 INNOTEC VS-24C #190502 待售

INNOTEC VS-24C濺射設備是一種完全集成的自動化設備，用於與薄膜材料的物理氣相沈積（PVD）相關的所有過程。它是一種在線真空沈積溶液，具有寬廣的工藝窗口，適合多種應用。VS-24C是一個多源多室系統，配備了最新的聚氯乙烯技術，如先進的沈積控制和診斷，包括無光和氮化物沈積能力。它還具有直觀的基於Windows的圖形用戶界面（GUI）和靈活的模塊化設計,用於定制配置。該單元是為介電和半導體材料的PVD而設計的。優化的工藝窗口和閉環工藝控制保證了膜質量和厚度的統一控制。模塊化設計允許最多增加四個獨立的腔室，使用戶在沈積規模和生產能力方面具有靈活性。INNOTEC VS-24C能夠提供高質量、可靠的沈積結果,並具有最大吞吐量和產品產量的特定設計。其不同的源配置和基板尺寸使其能夠適應任何特定的工藝要求。機器執行定時脈沖、圓形和分段旋轉濺射過程，具有廣泛的濺射速率，包括先進的雙源、雙目標配置。它還包括一個微處理器控制的可變電源，它提供了對薄膜沈積參數的精確控制。VS-24C是一種先進的PVD工具,具有高度的自動化和控制,允許用戶減少處理時間並提高沈積速率。其精心設計的設計和全面的功能包確保了最大的客戶滿意度。