二手 INNOTEC VS-24C #9097901 待售
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單擊可縮放
ID: 9097901
RF Magnetron deposition systems
Chamber: 24" dia x 12" H
Dual 19" instrument rack
CTI Cryo-Torr 8 cryopump
Side mounted
High conductance valve
CTI 8300 Compressor with 8001 controllers
RF Power supply: 2kW Matching system as bias
(1) 14" Magnetron source with R match system and Al2O3 target
MKS Vacuum gauges valve and process control systems
Temperature and thickness control
Electro pneumatically actuated valves
VCS Vacuum system controller
VSC Sense analog and digital signals RS-232
Load lock system not included.
INNOTEC VS-24C是一種用於薄膜塗層應用的高性能濺射設備。它的設計目的是在大面積上提供均勻的薄膜，並且能夠將薄膜沈積在包括金屬、氧化物、氮化物和合金在內的各種材料上。濺射槍由陽極電極、enerVac真空端口、絕緣塗層和目標支架組成。一個高壓脈沖施加到陽極上，從目標材料中激發和產生離子，並將其加速向基板。離子撞擊基板,並以薄膜形式沈積目標材料.濺射槍可以在直流（直流電）或射頻（射頻）模式下操作。在直流模式下，離子不斷加速，而在射頻模式下，離子以脈沖方式加速。該系統具有具有磁場輔助均勻等離子體分布的專利離子源，提高了薄膜的均勻性。射頻源尺寸也可以根據應用的大小和形狀進行調整，進一步提高薄膜的均勻性。該單元裝有負載鎖，支撐一系列直徑達8英寸、高度達4英寸的基板。它有一個4英寸的目標支架,可以選擇正面或背面加載。基板支架可加熱至200 °C。該機采用熱控墻設計，以減少基板的加熱，減少薄膜上的熱應力。它還有一個緊急停止工具，防止因極端電湧造成資產損壞。VS-24C是一個模塊化模型，可以很容易地與用於等離子體蝕刻、離子清洗和其他等離子體相關過程的其他模塊集成在一起。它非常適合薄膜塗層在汽車、醫療和電子工業中的應用。
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