二手 JM IOTA #129082 待售

JM IOTA是一種用於沈積薄膜和厚膜的濺射設備。該系統是由兩個工藝室組成的雙磁控管濺射單元；一種用於薄膜沈積，另一種用於厚膜沈積。每個腔室包含自己的陰極、電源、氣室和射頻匹配。將超高吸塵器（UHV）機裝入工具中,以保持腔室的清潔度。這樣就可以沈積各種材料。薄膜沈積室設計用於較小的基板和要求高純度、均勻性和低顆粒汙染的應用。它能夠從稀有金屬、合金和聚合物中沈積材料，厚度範圍很廣，從亞單層到幾百納米。厚膜沈積室設計用於沈積厚厚的材料層，通常從幾百納米到幾微米的厚度。金屬氧化物、氮化物和碳化物都可以沈積在這個腔室裏。腔室也能適應合金材料的沈積.兩個腔室都有可調節的溫度控制系統，使得沈積速率可以在廣泛的材料範圍內精確控制。這使得可重復的均勻塗層能夠一致地應用於各種基材上。除了常規的沈積室外，IOTA還包括一種化學氣相沈積（CVD）資產，使納米復合材料膜能夠沈積。CVD模型允許無機和有機材料的耦合沈積，從而產生多功能納米復合材料膜。總體而言，JM IOTA濺射設備是一種極為通用的薄膜和厚膜沈積工具。它能容納的材料和工藝種類繁多，使用戶能夠制造出汙染最小的高質量薄膜。